国家/地区 德国(18)
IPC部 G(18) H(10) B(8)
C(4)
IPC大类 G01(18) H01(9) B82(4)
B81(2) C01(2)
IPC小类 G01N(18)
IPC G01N027/12(4) G01N027/30(3) G01N033/00(3)
G01N033/50(3) B81C001/00(2) G01N027/04(2)
G01N027/403(2) G01N027/414(2) G01N027/416(2)
G01N027/72(2) G01N033/543(2) H01L029/06(2)
H01L029/16(2)
发明人 RUHL G(2)
公开年 2021(4) 2022(3) 2015(2) 2016(2) 2023(2)
申请年 2014(3)  2020(3)  2019(2)  2021(2)  2022(2) 
专利权人 INFINEON TEC.(4) RUHL G(2)